Tyhjiöpinnoituslaitteen paineenhallintaperiaate

1. Taustaesittely
Tyhjiöpäällystyslaitteet ovat eräänlainen laite, jota käytetään laajalti teollisuustuotannossa. Sen päätehtävä on laittaa materiaali, joka on päällystettävä tyhjiöpäällystyskammioon, ja korkean lämpötilan ja korkean tyhjiöympäristön reaktion kautta kalvokerros kerrostuu tasaisesti materiaalin pintaan. , ja muodosta tietty pinnoituskerros, jolla on erityistoiminnot ja ominaisuudet. Niistä laitteiden tyhjiöaste ja tarttuvuusaste ovat tärkeitä indikaattoreita, jotka vaikuttavat päällystyskerroksen laatuun, ja tyhjiöasteen stabiilisuus riippuu laitteiden paineenhallinnasta.
2. Pölyn pinnoituslaitteen paineenhallinnan periaate
1. Tyhjiöasteen määritelmä
Ennen paineenhallinnan periaatteen käyttöönottoa on tarpeen tuoda esiin mitä tyhjiö on. Fysiikassa tyhjiö viittaa kaasuympäristöön, jonka paine on pienempi kuin ilmakehän paine, joten tyhjiöaste viittaa kaasun paineeseen tietyssä tilassa. Yleensä tyhjiö mitataan yleensä Pascals (PA) tai metrien palkki (MBAR). Tyhjiöpäällystyslaitteissa tavanomainen tyhjiöalue on 10^-6pa ~ 10^-2pa.
2. paineenhallinnan periaate
Kun tyhjiö on liian korkea tai liian matala, se vaikuttaa laitteiden normaaliin toimintaan. Siksi on tarpeen hallita laitteiden tyhjiötasoa tietyn menetelmän avulla. Niiden joukossa paineenhallinta on suhteellisen yksinkertainen ja tehokas ohjausmenetelmä. Erityisesti paineenhallinnan periaate on käyttää paineenohjainta laitteiden kaasun virtausnopeuden ohjaamiseen havaitsemalla ohjattavan pään paine ja sitten takaisinkytkentämekanismin kautta hallitsemalla venttiilin avaamista, jotta painetta voidaan hallita.
3. paineenohjaimen peruskoostumus
Tyhjiöpäällystyslaitteissa paineenohjainta käytetään yleensä paineen hallintaan. Sen peruskoostumus sisältää neljä osaa: havaitsemisanturi, ohjain, toimilaite ja ohjausjärjestelmä.
Tunnistusanturi: Sitä käytetään pääasiassa ohjattavan pään paineen havaitsemiseksi ja muun muuntamiseksi vastaavaksi sähköiseen signaalin ulostuloon ohjaimen käytettäväksi.
Ohjain: Se vastaanottaa pääasiassa anturin sähköisen signaalin ulostulon, prosessoi ja analysoi sen ja syöttää sitten analyysituloksen toimilaitteelle toimilaitteen avausasteen hallitsemiseksi.
Toimilaite: Se hallitsee pääasiassa laitteiden kaasun virtausnopeutta hallitsemalla venttiilin avausastetta, jotta painetta voidaan hallita.
Ohjausjärjestelmä: Sitä käytetään pääasiassa laitteiden erilaisten indikaattorien, kuten lämpötilan, tyhjiöasteen jne. Tarkkailuun ja hallintaan, ja tehdä sarja valvontastrategioita.
3. Yhteenveto
Yhteenvetona voidaan todeta, että tyhjiöpäällystyslaitteiden paineenhallinnan periaate on hallita laitteiden painetta suhteellisen yksinkertaisen ja tehokkaan palautemekanismin avulla. Tällaisen vakaan ohjausjärjestelmän perustaminen vaatii laiteohjausjärjestelmän eri näkökohtien, kuten parametrien seurannan, valvontaalgoritmin, toimilaitteen hallinnan, järjestelmän kytkentä jne., Teknistä tukea, nämä tekniset tekijät vaativat tietyn ammatillisen ja teknisen henkilöstön yhteistyötä varmistaakseen, että laitteet voivat osoittaa erinomaisempaa suorituskykyä.